服務與維修
半導體設備
| 名稱 | 服務內容 | |
|---|---|---|
| Aspen II | 機台翻修，裝移機，改機，機台保養，機台故障排除，所有耗材與非耗材買賣，機台保固合約，二手機買賣等.. | |
| Aspen III | 機台裝移機，機台保養，耗材與非耗材買賣等. | |
| RTP 3000 Pre-Aligner | 翻修 | |
| Rorze Robot | 翻修 | |
| 9400/9600 Top Match | 翻修 | |
| Bottom Match | 翻修 | |
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| 名稱 | 服務內容 | |
|---|---|---|
| PVD、CVD、Etcher、CMP | 電腦界面卡 | |
| 電路板、RF Match | 翻修及修改 | |
| O-ring、Sapphire | 耗材 | |
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| AMAT P/N | Description | Description | Return |
|---|---|---|---|
| 0100-00003 | STEPPER Ⅰ | 29 | 0 |
| 0100-00063 | STEPPER Ⅱ | 7 | 0 |
| 0100-11002 | DI/DO | 33 | 0 |
| 0100-11001 | ANALOG OUTPUT | 19 | 0 |
| 0100-09054 | ANALOG INPUT | 38 | 0 |
| 0100-00782 | ANALOG INPUT | 5 | 0 |
| 0100-76124 | DI/DO | 46 | 0 |
| 0100-20003 | DI/DO | 75 | 1 |
| 0100-20067 | STEPPER | 3 | 0 |
| 0100-20173 | STEPPER | 9 | 0 |
| 0100-20001 | SEI | 43 | 1 |
| 0100-20100 | AI/O | 43 | 1 |
| 0100-20100 | AI/O | 265 | 1 |
| 0100-14007 | AUTO LOADER INTERFACE PCB ASSY | 4 | 0 |
Concept I & II Trazar RF Match 翻修，原廠 Quartz window，O-ring 及 Sapphire 等耗材業務
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